单项选择题
A.是否需要水冷B.成本C.能耗D.坩埚与热源的相互运动情况
目前最常用的硅片的尺寸为（）。A.210mm×210mmB.156mm×156mmC.125mm×125mmD...
单项选择题目前最常用的硅片的尺寸为（）。
A.210mm×210mmB.156mm×156mmC.125mm×125mmD.100mm×100mm
目前常用的多晶硅铸锭炉单炉产量约为（）。A.450kgB.1000kgC.100kgD.250kg
单项选择题目前常用的多晶硅铸锭炉单炉产量约为（）。
A.450kg B.1000kg C.100kg D.250kg
硅片中磷扩散进行掺杂的原料是（）。A.PH3B.PH5C.POCl3D.B2O3
单项选择题硅片中磷扩散进行掺杂的原料是（）。
A.PH3 B.PH5 C.POCl3 D.B2O3
