刻蚀机的控制系统通常采用（）。

提高刻蚀选择性的方法包括（）。A.优化刻蚀气体配比B.控制刻蚀温度C.选择合适的掩膜材料D.以上都是

单项选择题提高刻蚀选择性的方法包括（）。

刻蚀过程中的残余应力会导致（）。A.器件变形B.性能下降C.寿命缩短D.以上都是

单项选择题刻蚀过程中的残余应力会导致（）。

刻蚀机的发展趋势是（）。A.更高精度B.更高效率C.更低成本D.以上都是

单项选择题刻蚀机的发展趋势是（）。