提高刻蚀选择性的方法包括（）。

刻蚀过程中的残余应力会导致（）。A.器件变形B.性能下降C.寿命缩短D.以上都是

单项选择题刻蚀过程中的残余应力会导致（）。

刻蚀机的发展趋势是（）。A.更高精度B.更高效率C.更低成本D.以上都是

单项选择题刻蚀机的发展趋势是（）。

为保证刻蚀质量，刻蚀前需要对样品进行（）。A.清洗B.镀膜C.切割D.打磨

单项选择题为保证刻蚀质量，刻蚀前需要对样品进行（）。