名词解释
最新的净化空气标准把直径小于0.1um的颗粒一直到分立颗粒计数器能检测到的最小颗粒都规定为超细颗粒
10级0.3um
名词解释10级0.3um
1级净化间
名词解释1级净化间
解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
问答题解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
