问答题
为了查找光刻胶中成形图形的缺陷，鉴别并除去有缺陷的硅片，用来检查光刻工艺的好坏，为光学光刻工艺生产人员提供用于纠正的信息......
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解释光刻胶选择比，要求的比例是高还是低？
问答题解释光刻胶选择比，要求的比例是高还是低？
使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成图形的不透明材料是什么？
问答题使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成图形的不透明材料是什么？
当分辨率增加时焦深会发生什么变化？
问答题当分辨率增加时焦深会发生什么变化？
