简答题 使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成图形的不透明材料是什么？

当分辨率增加时焦深会发生什么变化？

问答题当分辨率增加时焦深会发生什么变化？

写出计算焦深的公试。

问答题写出计算焦深的公试。

计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm，NA=0.65，K是0.6。

问答题计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm， NA=0.65，  K是0.6。