干涉法使用的仪器是光切显微镜。

光切法使用的仪器是干涉显微镜。

判断题光切法使用的仪器是干涉显微镜。

表面粗糙度常用的测量方法有目测检测、比较检测和测量仪器检测等。

判断题表面粗糙度常用的测量方法有目测检测、比较检测和测量仪器检测等。

当被测表面非常光滑时，也就是说是超精密表面，也可以用目测检测。

判断题当被测表面非常光滑时，也就是说是超精密表面，也可以用目测检测。