多项选择题
A.蒸镀工艺的普适性更好B.溅射工艺的普适性更好C.溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好D.蒸镀工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好
从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上（）A.衬底放在面积大的电极上B.靶放在面积大...
多项选择题从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上（）
A.衬底放在面积大的电极上B.靶放在面积大的电极上C.衬底放在面积小的电极上D.靶放在面积小的电极上
为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，多采用下列哪种工艺方法（）A.射频溅射B.LPCVDC.电...
单项选择题为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，多采用下列哪种工艺方法（）
A.射频溅射B.LPCVDC.电阻蒸镀D.PECVD
poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的（）A.PECVDB.LPCVDC.APCVDD.LCVD
单项选择题poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的（）
A.PECVDB.LPCVDC.APCVDD.LCVD
