问答题
（1）晶核形成，成束的稳定小晶核形成 （2）聚集成束，也称为岛生长 （3）形成连续的膜
简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点
问答题简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点
简述干法刻蚀的应用
问答题简述干法刻蚀的应用
简述负载和微负载效应的概念
问答题简述负载和微负载效应的概念
