问答题
介质——氧化物和氮化硅 硅——多晶硅栅和单晶硅槽 金属——铝和钨
简述负载和微负载效应的概念
问答题简述负载和微负载效应的概念
简述刻蚀的概念及其基本目的
问答题简述刻蚀的概念及其基本目的
简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用
问答题简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用
