问答题
涂光刻胶，曝光，显影，腐蚀，去光刻胶。
光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
问答题光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
比较整版掩模和单片掩模的区别，并列举三种掩模的制造方法。
问答题比较整版掩模和单片掩模的区别，并列举三种掩模的制造方法。
掩模在IC制造过程中有什么作用？
问答题掩模在IC制造过程中有什么作用？
