多项选择题
A.选择比好B.容易造成衬底损伤C.设备昂贵D.不要终点检测
干法刻蚀的优点有（）A.各向异性B.均匀性好C.各向同性D.设备简单
多项选择题干法刻蚀的优点有（）
A.各向异性B.均匀性好C.各向同性D.设备简单
以下（）属于刻蚀终点检测法。A.OESB.IEPC.RIED.HDP
多项选择题以下（）属于刻蚀终点检测法。
A.OESB.IEPC.RIED.HDP
以下（）属于干法刻蚀工艺。A.RIEB.MERIEC.ICPD.HDP
多项选择题以下（）属于干法刻蚀工艺。
A.RIEB.MERIEC.ICPD.HDP
