名词解释
刻蚀薄膜时，晶圆内的刻蚀速率和薄膜厚度并不完全均匀，主刻蚀后，会有少部分的薄膜留下，移除剩余薄膜的过程称为过刻蚀。
负载效应
名词解释负载效应
简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程
问答题简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程
通道效应
名词解释通道效应
