名词解释
如果一个电子以正确的角度进入通道，它只需要很少的能量就可以行进很长的距离。
简述离子注入设备的主要组成部分
问答题简述离子注入设备的主要组成部分
简述离子注入工艺在元器件中的应用
问答题简述离子注入工艺在元器件中的应用
离子注入后为什么要进行热退火
问答题离子注入后为什么要进行热退火
