多项选择题
A.薄膜成分可控B.速度优于PVDC.黏附性好D.纯度高
选择外延的简称是（）A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
单项选择题选择外延的简称是（）
A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
SOI的意思是（）A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上（外延）硅
单项选择题SOI的意思是（）
A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上（外延）硅
（）是使硅片上的局部区域达到平坦化。A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
单项选择题（）是使硅片上的局部区域达到平坦化。
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
