问答题
(1)手臂做home回原点;关闭控制手臂空开,做home。 (2)关闭PLC,重新做原点。
旋涂机手臂抓不住盘片如何处理?
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7.0旋涂碗电机不转有哪些原因?
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如何更换Arm手臂的吸碟头?
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