问答题
解释基本概念：集成电路、集成度、特征尺寸。
问答题解释基本概念：集成电路、集成度、特征尺寸。
简述侧墙工艺目的。
问答题简述侧墙工艺目的。
简述轻掺杂漏（LDD）工艺目的。
问答题简述轻掺杂漏（LDD）工艺目的。
