利用蒸馏法可将混合液体加以初步分离和提纯。在高纯度硅的生产中采取简单的一次性蒸馏就可以达到高纯度的要求。

快速热退火大大降低杂质的再分布，对制备浅结器件特别有利。

判断题快速热退火大大降低杂质的再分布，对制备浅结器件特别有利。

平均投影射程是指射程在入射方向上的投影的平均值，往往此处杂质浓度最大。

判断题平均投影射程是指射程在入射方向上的投影的平均值，往往此处杂质浓度最大。

扩散和离子注入都可以掺杂，但两者各有利弊，所以都在使用。

判断题扩散和离子注入都可以掺杂，但两者各有利弊，所以都在使用。