​LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。

‎APCVD系统的缺点有（）。‎A.均匀性差B.易发生气相反应C.台阶覆盖D.高温工艺

多项选择题‎APCVD系统的缺点有（）。‎

下列关于LPCVD的描述正确的有（）。A.扩散控制B.严格控制温度C.反应控制D.低温淀积工艺

多项选择题下列关于LPCVD的描述正确的有（）。

‎影响淀积速率的因素有（）。A.降低δsB.增加UmC.减小基座长度LD.增加温度

多项选择题‎影响淀积速率的因素有（）。