问答题
说明扩散杂质的余误差函数分布特点（恒定表面源扩散属于此分布）
①杂质表面浓度由该种杂质在扩散温度下的固溶度所决定。当扩散温度不变时，表面杂质浓度维持不变；②扩散时间越长，......
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杂质在硅中有哪些扩散机制？
问答题杂质在硅中有哪些扩散机制？
简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。
问答题简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。
简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。
问答题简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。
