简答题 杂质在硅中有哪些扩散机制？

简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。

问答题简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。

简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。

问答题简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。

简述SiO2在集成电路中的用途。

问答题简述SiO₂在集成电路中的用途。