简答题 干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？

定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？

问答题定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？

定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

问答题定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。

问答题刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。