问答题
定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？
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刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。
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例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
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