压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器，具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。

飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。

判断题飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。

空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

判断题空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。

判断题激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。