飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。

空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

判断题空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。

判断题激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。

采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。

判断题采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。