问答题
分辨率是将硅片上两个相邻的关键尺寸图形区分开的能力。分辨率是光刻中一个重要的性能指标。k为工艺因......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
写出数值孔径（NA）公式。
问答题写出数值孔径（NA）公式。
简述正胶和负胶区别。
问答题简述正胶和负胶区别。
简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
问答题简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
