如果衬底是（100）晶向，那么外延层也是（100）晶向。

外延掺杂的目的只是为了控制导电类型。

判断题外延掺杂的目的只是为了控制导电类型。

抛光终点检测过程中，电动机电流CMP终点检测不适合进行层间介质检测。

判断题抛光终点检测过程中，电动机电流CMP终点检测不适合进行层间介质检测。

机械研磨是将表面材料与研磨料发生化学反应生成相对容易去除的物质。

判断题机械研磨是将表面材料与研磨料发生化学反应生成相对容易去除的物质。