在温度相同的情况下，制备相同厚度的氧化层，分别用干氧，湿氧和水汽氧化，哪个需要的时间最长？（）

欧姆接触

名词解释欧姆接触

简述电子束曝光的特点

问答题简述电子束曝光的特点

微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？

问答题微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？