问答题
PN结隔离：工序简单、成本低，但结电容大，高频性能差，存在较大的PN结反向漏电和寄生晶体管效应 ......
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什么是短沟道效应？有哪些设计和工艺措施可以降低短沟道效应？
问答题什么是短沟道效应？有哪些设计和工艺措施可以降低短沟道效应？
LOCOS工艺的特点是什么？“鸟嘴”效应的危害是什么？有无避免方法？
问答题LOCOS工艺的特点是什么？“鸟嘴”效应的危害是什么？有无避免方法？
有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？
问答题有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？
