精密切削时被挤压的材料在刀具移过之后，工件加工表面形成隆起，称之为（）。

微量切削加工中，由于材料晶粒的机械性能不同产生的（）的影响，使得材料纯度越高加工质量越好。

填空题微量切削加工中，由于材料晶粒的机械性能不同产生的（）的影响，使得材料纯度越高加工质量越好。

超精密加工对机床的基本要求是：（）、高刚度、（）、高自动化。

填空题超精密加工对机床的基本要求是：（）、高刚度、（）、高自动化。

简述超声清洗的原理。

问答题简述超声清洗的原理。