问答题
低压CVD:气相输运和反应。低压下气体扩散系数增大,使气态反应物和副产物的质量传输速率加快,形成薄膜的反应速率增加。......
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简述CVD的必要条件?
问答题简述CVD的必要条件?
简述离子镀膜的优缺点?
问答题简述离子镀膜的优缺点?
简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理?
问答题简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理?