问答题
1.二极直流溅射:靶材为良导体,依靠气体放电产生的正离子飞向阴极靶,一次电子飞向阳极,放电依靠正离子轰击阴极所产生的二次......
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简述溅射机理?如何提高溅射率?
问答题简述溅射机理?如何提高溅射率?
简述点蒸发和小平面蒸发源特性,如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
问答题简述点蒸发和小平面蒸发源特性,如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
如何解决蒸发过程中的分馏问题?
问答题如何解决蒸发过程中的分馏问题?