真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）

与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。A.膜厚分布均匀B.沉积速率较低C.薄膜纯度高D.原料浪费少

多项选择题与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。

‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。A.电子回旋共振B.直流电场C.微波耦合D.射频电场

多项选择题‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。

不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。A.粘滞流B.粒子流C.过渡流D.分子流

多项选择题不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。