简答题 在SiO₂系统中存在哪几种电荷？他们对器件性能有些什么影响？工艺上如何降低他们的密度？

SiO2膜网络结构特点是什么？氧和杂质在SiO2网络结构中的作用和用途是什么？对SiO2膜性能有哪些影响？

问答题SiO₂膜网络结构特点是什么？氧和杂质在SiO₂网络结构中的作用和用途是什么？对SiO₂膜性能有哪些影响？

异质外延对衬底和外延层有什么要求？

问答题异质外延对衬底和外延层有什么要求？

硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向，通常偏离（100）或（111）等晶向一个小角度，为什么？

问答题硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向，通常偏离（100）或（111）等晶向一个小角度，为什么？