问答题
异质外延对衬底和外延层有什么要求?
问答题异质外延对衬底和外延层有什么要求?
硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向,通常偏离(100)或(111)等晶向一个小角度,为什么?
问答题硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向,通常偏离(100)或(111)等晶向一个小角度,为什么?
比较硅单晶锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点?
问答题比较硅单晶锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点?