论述题

下图为硅外延生长速度对H₂中SiCL₄摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。

影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？

问答题影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？

简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？

问答题简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？

简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。

问答题简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。