为保证刻蚀质量，刻蚀前需要对样品进行（）。

刻蚀过程中产生的废气需要（）。A.直接排放B.过滤处理C.压缩储存D.无需处理

单项选择题刻蚀过程中产生的废气需要（）。

刻蚀均匀性的衡量指标是（）。A.厚度偏差B.面积偏差C.深度偏差D.以上都是

单项选择题刻蚀均匀性的衡量指标是（）。

刻蚀机的自动化程度主要体现在（）。A.自动上下料B.自动控制参数C.自动故障诊断D.以上都是

单项选择题刻蚀机的自动化程度主要体现在（）。