以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？

刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度

单项选择题刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？

以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？A.激光刻蚀B.干法刻蚀C.湿法刻蚀D.三者均可

单项选择题以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？

以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？A.真空泵B.气体流量计C.加热装置D.冷却装置

单项选择题以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？