问答题
若在氧化中加Cl器件性能与洁净度都会改善作用：A.减弱二氧化硅移动离子（主要钠离子）玷污影响......
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比较干氧化、湿氧化和水汽氧化的特点。
问答题比较干氧化、湿氧化和水汽氧化的特点。
常见的热氧化生长二氧化硅的方法有哪些？
问答题常见的热氧化生长二氧化硅的方法有哪些？
简述影响氧化速率的因素？
问答题简述影响氧化速率的因素？
