单项选择题

二氧化硅可以用作扩散掩蔽膜的原因是()

A.杂质在二氧化硅中的扩散系数远小于其在硅中的扩散系数
B.杂质在二氧化硅中的扩散系数等于其在硅中的扩散系数
C.杂质硅中的扩散系数远小于其在二氧化硅中的扩散系数
D.杂质在二氧化硅中不扩散