垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于8%。

垂直线性是检测仪和探头的组合性能。

判断题垂直线性是检测仪和探头的组合性能。

仪器垂直线性的好坏直接影响到对缺陷大小的判断。

判断题仪器垂直线性的好坏直接影响到对缺陷大小的判断。

水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于2%。

判断题水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于2%。