问答题
利用硅独有的特性制造薄到几十埃（只有几个原子层）的栅氧化层
什么是非接触曝光方式？
问答题什么是非接触曝光方式？
接触曝光方式的关键技术有哪些？它的主要优缺点是什么？
问答题接触曝光方式的关键技术有哪些？它的主要优缺点是什么？
光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
问答题光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
