问答题
扫描投影光刻机的概念是利用反射镜系统把有1：1图像的整个掩膜图形投影到硅片表面，其原理是，紫外光线通过一个狭缝聚焦在硅片......
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光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
问答题光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
问答题例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。
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