问答题
①定义：在单晶衬底上新生一层单晶膜的技术。以气相外延为例，则是含外延层材料的物质以气相形式流向衬底，在高温下......
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增层工艺主要包括哪些方式？
问答题增层工艺主要包括哪些方式？
列出最基本的4种工艺方法
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出硅片表面的4种污染物及其相应的清洗措施
问答题出硅片表面的4种污染物及其相应的清洗措施
