问答题
APCVD：常压化学气相淀积 LPCVD: 低压化学气相淀积 PECVD：等离子增强型化学气相淀积
过刻蚀
名词解释过刻蚀
负载效应
名词解释负载效应
简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程
问答题简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程
