问答题
定义：光刻是图形复印与腐蚀作用相结合，在晶片表面薄膜上制备图形的精密表面工艺技术。目的：在介质薄膜（二氧化硅......
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说明金属CVD的优势和主要用途。
问答题说明金属CVD的优势和主要用途。
金属化的实现方法有几种？请论述真空溅射方法。
问答题金属化的实现方法有几种？请论述真空溅射方法。
VLSI对金属化的要求是什么？
问答题VLSI对金属化的要求是什么？
