简答题 简述沉积多晶硅采用什么CVD工具？掺杂的Poly－Si的主要用途。写出掺杂的Poly－Si做栅电极的6个原因。

简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。

问答题简述在APCVD SiO₂时掺杂PH₃，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。

简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。

问答题简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。

简述常压CVD系统（APCVD）的优缺点。

问答题简述常压CVD系统（APCVD）的优缺点。