干法刻蚀适用于（） （粗/细）线条。

扩散只用于浅结的制备

判断题扩散只用于浅结的制备

在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是...

判断题在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制

离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）A. 离子注入B. 热扩散

单项选择题离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）