（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。A.蒸镀B.离子注入C.溅射D.沉积

单项选择题用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

真空镀膜室是由（）几部分组成。A.钟罩B.蒸气源加热器C.衬底加热器D.活动挡板E.底盘

多项选择题真空镀膜室是由（）几部分组成。

真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。A.隔挡气体交换B.控制蒸发的过程C.辅助...

单项选择题真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。