（）是热系统的主体，用（）制成。

直拉单晶炉热系统由（）、（）、（）等组成。

填空题直拉单晶炉热系统由（）、（）、（）等组成。

常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。

填空题常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。

液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。

填空题液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。